自動(dòng)影像測量?jì)x是近年來(lái)發(fā)展最為迅速的幾何量光學(xué)檢測儀器,它是一種基于光學(xué)投影原理,結合現代光電技術(shù)和計算機處理技術(shù),完成對試件邊緣輪廓瞄準并實(shí)現長(cháng)度和高度尺寸測量的三維光學(xué)坐標測量?jì)x。該儀器可以高效地檢測各種形狀復雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,特別是精密零部件的微觀(guān)檢測與質(zhì)量控制,適用于產(chǎn)品研制開(kāi)發(fā)、品質(zhì)批量檢測等領(lǐng)域。
1、自動(dòng)影像測量?jì)x的結構組成及光學(xué)原理特點(diǎn)
自動(dòng)影像測量?jì)x一般由機械、光學(xué)、圖像采集、計算機處理和測量軟件等六部分組成。自動(dòng)影像測量?jì)x的光學(xué)原理與普通投影儀很類(lèi)似,區別在于影像前者被測件的輪廓影像被CCD傳感器接收并由計算機進(jìn)行圖像采集和處理,后者則直接把影像投射到投影觀(guān)測屏,輪廓對準有操作者的人眼完成,因而導致兩者測量精度和自動(dòng)化程度相差很大,另外還有高度測量的功能。
自動(dòng)影像測量?jì)x一般具有較大的測量范圍,通常配備有變焦物鏡,照明光源除了常見(jiàn)的底光和頂光外,還有環(huán)形照明光,適合于底光和頂光都不能有效照明時(shí)應用。
2、自動(dòng)影像測量?jì)x的誤差來(lái)源
自動(dòng)影像測量?jì)x的測量可以是單軸、二維平面的測量,也可以是三維空間坐標的測量,測量時(shí)先對焦,取點(diǎn),最后計算處理。讀數來(lái)自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠光學(xué)系統,還有一個(gè)直接影響測量效果和精度的照明光源, 因為, 基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測量精度不可忽視的因素?;谏鲜龇治?,可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源:
1)光柵計數尺的誤差;
3)工作臺兩測量軸垂直度帶來(lái)的誤差;
4)顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來(lái)的誤差;
6)光源照明條件的變化帶來(lái)的對焦和對準誤差;
2)工作臺移動(dòng)時(shí)存在的直線(xiàn)度、角擺帶來(lái)的誤差;
5)測量室溫度偏離校準要求的參考溫度帶來(lái)的誤差;
在這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),一般無(wú)法改變;溫度影響帶來(lái)的誤差,必須通過(guò)控制測量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。
最后一項則常被忽視,而在實(shí)際測量中,當光源照明條件改變時(shí),直接影響被測工件的照明效果和影像質(zhì)量,主要是因為自動(dòng)影像測量?jì)x的圖像是通過(guò)CCD 接收,盡管CCD具有自動(dòng)調節增益的功能,但當亮度過(guò)大時(shí)即失去調節功能,導致被測工件影像在縮小,當亮度過(guò)低時(shí),工件影像反而變大。
這種影響,對于測量具有重復圖形結構之間的間距時(shí),只要整個(gè)測量過(guò)程中照明條件保持不變,其影響可以忽略,因為每個(gè)重復圖形結構都同時(shí)在變大或變小,間距的測量計算直接消除了影像變形的影響,如測量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線(xiàn)間距;除了這種特殊情形外,如測量圓的直徑、工件的長(cháng)度和寬度,都將帶來(lái)明顯的誤差。
在以影像測量工件樣品結構的幾何尺寸時(shí),光照明條件的改變將會(huì )直接影像被測尺寸,如線(xiàn)寬、圓直徑及其他幾何形位公差,因次要確保取到的邊界點(diǎn)是產(chǎn)品需要檢測的邊界,在高精度測量中,這是導致測量不確定度增大的關(guān)鍵因素,應引起足夠重視。