臺式電鏡簡(jiǎn)稱(chēng)電鏡,英文名Electron Microscope(簡(jiǎn)稱(chēng)EM),經(jīng)過(guò)五十多年的發(fā)展已成為現代科學(xué)技術(shù)中*的重要工具。電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。
臺式電鏡技術(shù)的應用是建立在光學(xué)顯微鏡的基礎之上的,光學(xué)顯微鏡的分辨率為0.2μm,透射電子顯微鏡的分辨率為0.2nm,也就是說(shuō)透射電子顯微鏡在光學(xué)顯微鏡的基礎上放大了1000倍。
下面讓我們一起來(lái)了解一下臺式電鏡的組成吧
臺式電鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。
鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件,這些部件通常是自上而下地裝配成一個(gè)柱體。
電子透鏡用來(lái)聚焦電子,是電子顯微鏡鏡筒中重要的部件。一般使用的是磁透鏡,有時(shí)也有使用靜電透鏡的。
它用一個(gè)對稱(chēng)于鏡筒軸線(xiàn)的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng)使電子軌跡向軸線(xiàn)彎曲形成聚焦,其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡(凸透鏡)使光束聚焦的作用是一樣的,所以稱(chēng)為電子透鏡。
光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的,而電子透鏡的焦點(diǎn)可以被調節,因此電子顯微鏡不像光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動(dòng)的透鏡系統。
現代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡,由很穩定的直流勵磁電流通過(guò)帶極靴的線(xiàn)圈產(chǎn)生的強磁場(chǎng)使電子聚焦。電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極,柵極,一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽(yáng)極構成的。
陰極和陽(yáng)極之間的電壓差必須非常高,一般在數千伏到3百萬(wàn)伏特之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束,所以加速電壓的穩定度要求不低于萬(wàn)分之一。
樣品可以穩定地放在樣品架上,此外往往還有可以用來(lái)改變樣品(如移動(dòng)、轉動(dòng)、加熱、降溫、拉長(cháng)等)的裝置。
探測器用來(lái)收集電子的信號或次級信號。
真空裝置用以保障顯微鏡內的真空狀態(tài),這樣電子在其路徑上不會(huì )被吸收或偏向,由機械真空泵、擴散泵和真空閥門(mén)等構成,并通過(guò)抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。
電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩流器和各種調節控制單元組成。