影像測量?jì)x是它是一種基于光學(xué)投影原理,結合應用現代光電技術(shù)和計算機處理技術(shù),完成對試件邊緣輪廓金相瞄準來(lái)實(shí)現長(cháng)度尺寸測量的二維平面坐標位置測量?jì)x。該儀器能高效地檢測各種形狀復雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,特別是精密零部件的微觀(guān)檢測與質(zhì)量控制。適用于產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、逆向工程、品質(zhì)檢測等領(lǐng)域。比起傳統的萬(wàn)能工具顯微鏡和投影儀,在硬件上增加了CCD攝像傳感器、數顯化光柵位置輸出裝置及自動(dòng)定位伺服控制系統,在測量或軟件功能上,具有自動(dòng)對焦、自動(dòng)瞄準及各種復雜自動(dòng)計算處理特點(diǎn)。電子和圖像處理技術(shù)的發(fā)展應該,為影像測量?jì)x的多功能、高精度和自動(dòng)化程度提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐作用。應用于工程現場(chǎng)測量的影像測量?jì)x,通常其分辨率為0.001mm,測量不確定一般為(3+L/200)um左右,其中L為測量長(cháng)度(mm)。
一般誤差出現的原因有以下幾點(diǎn):
1)光柵計數尺的誤差;
2)工作臺移動(dòng)時(shí)存在的直線(xiàn)度、角擺帶來(lái)的誤差;
3)工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差;
4)顯微鏡光軸與工作臺不垂直帶了的誤差;
5)測量室溫度帶來(lái)的誤差;
6)光源照明條件的變化帶來(lái)的對焦和對準誤差。
在這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),一般無(wú)法改變,溫度影響帶來(lái)的誤差,必須通過(guò)控制測量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。