掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000通過(guò)高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實(shí)現低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀(guān)察
掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細介紹
緊湊型設計,分辨率為4 nm*1
通過(guò)高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實(shí)現低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀(guān)察
操作簡(jiǎn)捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
導航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野
大窗口(30 mm2)SDD能譜系統,便于快速分析元素成分*2
?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術(shù)規格
項目 | 內容 | |
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分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) 15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式) 5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式) | |
加速電壓 | 0.3 kV ~ 20 kV | |
放大倍率 | 6× ~ 300,000× (底片倍率) 16× ~ 800,000× (顯示倍率) | |
低真空模式 | 真空范圍:6 ~ 100 Pa | |
電子槍 | 預對中鎢燈絲 | |
樣品臺 | 3-軸自動(dòng)馬達臺 X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm R:360°, T:-15° ~ +90° | |
大樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
大樣品高度 | 40 mm | |
尺寸 | 主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm 供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm | |
探測器選配 |
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