測量工業(yè)顯微鏡LEXT OLS 4500是一種納米搜索顯微鏡，它將激光顯微鏡和掃描探針顯微鏡（SPM）結合在同一個(gè)儀器中，可以在放大范圍內進(jìn)行觀(guān)察和測量（從大約50倍到1 000 000倍）。
測量工業(yè)顯微鏡OLS 4500可以快速定位感興趣的區域，使用各種類(lèi)型的無(wú)縫放大觀(guān)測，將物體保持在視場(chǎng)內。
方法。
采用白色LED作為光源，保證彩色圖像清晰，具有色彩再現性。這四個(gè)目標使人們能夠在從低到高的各種放大范圍內進(jìn)行觀(guān)察。OLS 4500充分利用光學(xué)顯微鏡的特點(diǎn)，能夠進(jìn)行BF(Brightfield)觀(guān)察-常用的差分干涉對比度(DIC)觀(guān)測，通過(guò)增強對比度，實(shí)現精細表面紋理的立體可視化，并簡(jiǎn)化了偏振光觀(guān)測，反映了不同顏色樣品的偏振特性。其他功能包括高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)，它通過(guò)改變曝光時(shí)間來(lái)合成幾幅圖像，以獲得亮度平衡和紋理增強的圖像。OLS 4500可以使用各種觀(guān)測方法快速找到感興趣的區域。
BF亮場(chǎng)
使用的觀(guān)測方法。
色彩逼真的自然形象
復制。適用于高對比度樣品的觀(guān)察。
迪奇
差分干擾對比度
增強對比度，使立體
無(wú)法用BF觀(guān)察到的樣品的可視化。適用于金屬結構、硬盤(pán)和拋光晶圓表面等鏡面樣品的缺陷和雜質(zhì)的檢測。
簡(jiǎn)化偏振光
用反射偏振光(具有特定振動(dòng)方向的光)顯示樣品的偏振特性(例如折射率)。適用于觀(guān)察金屬表面、礦物和半導體材料。
高動(dòng)態(tài)范圍
通過(guò)合成幾幅圖像來(lái)平衡觀(guān)察明亮和黑暗區域
不同的曝光時(shí)間。精細的觀(guān)察也是
可能通過(guò)增強紋理(表面條件)。
LSM可以用光學(xué)顯微鏡可視化無(wú)法觀(guān)察到的東西。
由于波長(cháng)較短的405 nm激光，高孔徑(高口徑)物鏡和共焦光學(xué)，具有很高的X-Y分辨率，使光學(xué)顯微鏡下不可見(jiàn)的物體在清晰的圖像中被觀(guān)察到。激光DIC觀(guān)測使對納米微表面的實(shí)時(shí)觀(guān)察成為可能。
無(wú)縫放大觀(guān)測將物體保持在視場(chǎng)內
四個(gè)目標，從低到高的放大安裝在機動(dòng)旋轉噴嘴與SPM單元。50倍和100倍的現場(chǎng)觀(guān)察模式使用光學(xué)顯微鏡或LSM將SPM掃描區域放置在場(chǎng)的中心。通過(guò)在區域上設置目標標記并切換到探針掃描模式，可以地接近感興趣區域。這意味著(zhù)一次SPM掃描就可以得到目標圖像，提高了工作效率，減少了懸臂梁的磨損。
方便切換到SPM觀(guān)測的指南
SPM觀(guān)測的準備工作，如懸臂安裝和掃描面積設置，可以通過(guò)引導顯示進(jìn)行，這意味著(zhù)即使是經(jīng)驗較少的操作人員也可以安全地進(jìn)行初步工作。
降噪SPM磁頭
緊湊型SPM掃描儀頭
OLS 4500采用鼻片式SPM掃描儀頭。由于目標和懸臂端在同軸、旁焦定位中，即使切換到SPM模式，觀(guān)察點(diǎn)也不會(huì )從視野中消失。緊湊型SPM頭提高了剛度，降低了圖像噪聲，提高了響應能力。
按要求放大區域的導航器
導航器功能允許通過(guò)進(jìn)一步提高放大率來(lái)更近地查看用探針掃描模式獲取的圖像中所需的區域。通過(guò)簡(jiǎn)單設置光標放大區域和啟動(dòng)探針掃描即可獲得目標圖像。掃描區域可以自由設置，使觀(guān)察和測量能夠更快、更有效地進(jìn)行。
導航儀放大10μm x 10μm圖像上的3.5μm x 3.5μm區域
滿(mǎn)足不同要求的分析
曲率測量(硬盤(pán)凹坑)
在SPM測量模式下采集的圖像可以進(jìn)行分析，以適應不同應用的需要，結果可以作為CSV格式輸出。OLS 4500提供以下分析功能。
該模式通過(guò)懸臂梁靜態(tài)掃描設定區域，同時(shí)保持懸臂和試樣之間的排斥力，以直觀(guān)地顯示樣品的高度信息。它也可用于力曲線(xiàn)的測量。
金屬薄膜
該振型使懸臂梁在諧振頻率附近振動(dòng)，并控制Z方向距離使振動(dòng)振幅常數，從而直觀(guān)地顯示樣品的高度信息。適用于具有柔軟表面的樣品，如聚合物或粘性材料。
鋁表面
該模式在動(dòng)態(tài)模式掃描過(guò)程中檢測懸臂梁振動(dòng)的相位延遲。它可以直觀(guān)地顯示樣品表面物理性質(zhì)的差異。
聚合物膜
該模式對樣品施加偏置電壓，以檢測和可視化懸臂梁和樣品之間的電流流動(dòng)。它也可用于I/V測量。
硅襯底上SiO 2圖案的樣品。高度圖像(左)中的黃色區域是SiO 2，在當前圖像(右)中顯示藍色(沒(méi)有電流的區域)。這些圖像表明，基板具有無(wú)電流的區域。
該模式通過(guò)導電懸臂梁施加交流電壓，檢測懸臂梁與樣品之間的靜電作用力，并將樣品表面的電勢可視化。它也被稱(chēng)為開(kāi)爾文力顯微鏡(KFM)模式。
磁帶樣本。表面電位圖像表明，幾百mV的電位差分布在樣品表面。這種分布被認為是在磁帶表面的潤滑層中存在不規則現象。
該模式以相位模式掃描磁化懸臂梁的設定區域，檢測懸臂梁振動(dòng)中的相位延遲，然后將樣品表面的磁信息可視化。它也被稱(chēng)為磁力顯微鏡(MFM)模式。
硬盤(pán)樣本。圖像顯示了磁性能的分布。
由于具有高數值孔徑的物鏡和通過(guò)405 nm激光獲得光學(xué)系統，OLS 4500能夠可靠地測量以前無(wú)法測量的銳角樣品。
LEXT物鏡
銳角剃刀
利用波長(cháng)為405 nm的短波激光和高孔徑物鏡，可獲得0.12μ的X-Y分辨率。因此，OLS 4500可以對樣品表面進(jìn)行亞微米測量。
0.12μm線(xiàn)與空間模式
(MPLAPON50XLEXT)
臺階高度標準B型，PTB-5，Institut für Mikroelektronik，德國
雖然高倍圖像的視場(chǎng)一般較窄，但OLS 4500的拼接功能可以通過(guò)625幅圖像的拼接，提供高分辨率、寬視場(chǎng)的圖像數據。獲得的寬視場(chǎng)圖像可以進(jìn)行三維顯示和三維測量.
010-87681080
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