輕松檢測85° 尖銳角
有尖銳角的樣品(剃刀) | 采用了有著(zhù)高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以地測量一直以來(lái)無(wú)法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。 |
LEXT 物鏡 | 使用物鏡時(shí)的小象差 |
高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓
(MPLAPON50XLEXT) 高度差標準 類(lèi)型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測量中的檢測 | 由于采用405 nm 的短波長(cháng)激光和更高數值孔徑的物鏡,OLS4100 達到了0.12 μm 的平面分辨率。因此,可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結合高度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法,例如奧林巴斯開(kāi)的I-Z 曲線(xiàn)(請參閱第23 頁(yè)),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。 |
克服反射率的差異
鉆石電鍍工具 物鏡:MPLAPON50XLEXT | OLS4100 采用了雙共焦系統,結合高靈敏度的探測器,那些具有不同反射率材料的樣品,也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。 |
適用于透明層
多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域,并將各層設為焦點(diǎn),這樣即可實(shí)現對透明樣品上表面的觀(guān)察和測量,而且也可以對多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測量。
觀(guān)察/測量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現對透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀(guān)察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹(shù)脂層,也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
通常表示測量?jì)x器的測量精度的,有2 個(gè)指標:"正確性",即測量值與真正值的接近程度,和"重復性",即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界同時(shí)保證了"正確性"和"重復性"的激光掃描顯微鏡。 |
OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠(chǎng)內完成,并按照一系列嚴格的標準進(jìn)行全面的檢驗并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠(chǎng) 。交付產(chǎn)品時(shí),由選拔出來(lái)的技術(shù)人員,在實(shí)際使用環(huán)境中執行校正和后的調整。 |
更多的測量類(lèi)型
高度測量 可以測量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。 輪廓測量也同樣可用 | 表面粗糙度測量 可以測量線(xiàn)粗糙度,以及平面整體的面粗糙度。 |
面積/體積測量 根據設置在輪廓截面上的任意閾值,可以測量其上部或下部的體積。 | 粒子測量 (選購件) 可以通過(guò)分離功能使粒子自動(dòng)分離,設置閾值,根據ROI 設置檢測范圍。 |
幾何測量 可以測量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測量 任意區域的面積。 | 膜厚測量 (選購件) 可以根據測出的對焦位置,測量透明介質(zhì)的膜厚。 |
自動(dòng)尋邊測量 (選購件)
可以自動(dòng)尋邊,測量線(xiàn)寬和圓,減少人為的測量誤差。
OLYMPUS Stream (選購件)
工作流程解決方案,實(shí)現了的圖像分析性能
對于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級別的測量,可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件,該軟件可以從OLS4100 直接上傳。
更的粗糙度測量
LEXT OLS4100 參數
作為表面粗糙度測量的新標準,奧林巴斯開(kāi)發(fā)了LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測量?jì)x同樣的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數和濾鏡。這樣,對于使用接觸式表面粗糙度測量?jì)x的用戶(hù)來(lái)說(shuō),能得到操作性和互換性良好的輸出結果。另外,還搭載了粗糙度模式,可以用自動(dòng)拼接功能測量樣品表面直線(xiàn)距離長(cháng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量?jì)x相同的表面輪廓參數,因此具有相互兼容的操作性和測量結果。
截面曲線(xiàn) | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
粗糙度曲線(xiàn) | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
波動(dòng)曲線(xiàn) | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
負荷曲線(xiàn) | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
基本圖形 | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應下一代參數
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)參數。通過(guò)評估平面區域,可以進(jìn)行高可靠性的分析。
振幅參數 | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
功能參數 | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
體積參數 | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
橫向參數 | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測量?jì)x的結果相兼容。
微細粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測量?jì)x,無(wú)法測量比探針的針尖直徑更細微的表面輪廓。而OLS4100 有著(zhù)微小的激光光斑直徑,所以能夠對微細形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測量。
非接觸式測量
使用接觸式表面粗糙度測量?jì)x測量柔軟的樣品時(shí),樣品容易受到探針損傷而變形。另外,帶有粘性的樣品會(huì )粘在探針上,無(wú)法得到正確的測量結果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100,不會(huì )影響樣品的表面狀態(tài),可以準確的測量樣品
的表面粗糙度。
高分子薄膜3D 影像(上)和粗 糙度測量結果(左) |
柔軟的
帶有粘性的樣品 微米級特征的測量
使用接觸式表面粗糙度測量?jì)x,其探針無(wú)法進(jìn)入微米級的區域,所以不能對這些區域的特征進(jìn)行測量。而OLS4100 可以正確定位,能輕松測量出特定微小區域的粗糙度。
焊線(xiàn) |
高畫(huà)質(zhì)影像 清晰鮮明的3D 彩色影像
三種類(lèi)型的綜合影像
真彩3D 影像 | LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類(lèi)型的影像信息:真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。 |
激光全焦點(diǎn)3D 影像 | 高度信息影像 |
再現自然色
OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以與的光學(xué)顯微鏡相媲美。
2D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x) | 3D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x) |
更加真實(shí)地再現表面, 激光DIC(激光微分干涉)
微分干涉觀(guān)察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀(guān)察到納米以下微小表面輪廓的觀(guān)察方法。LEXT OLS4100 通過(guò)安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡,將照明光橫向分為兩束光線(xiàn)來(lái)照射樣品。獲取由樣品直接反射回來(lái)的兩束光線(xiàn)的差,生成明暗對比,從而實(shí)現對微小凹凸的立體觀(guān)察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式,即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀(guān)察,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
無(wú)DIC 的激光影像(高分子薄膜) | 有DIC 的激光影像(高分子薄膜) |
無(wú)DIC 的激光影像(5x 物鏡) 高度差標準 類(lèi)型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany | 有DIC 的激光影像(5x 物鏡) 高度差標準 類(lèi)型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度:6 nm |
亮度和對比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR(高動(dòng)態(tài)范圍)影像
OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)功能結合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像,并且分別控制著(zhù)亮度、對比度、紋理和飽和度,因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀(guān)察。
無(wú)HDR 的彩色影像 (致密的織物、物鏡20x、變焦1x) | 有HDR 的彩色影像 (致密的織物、物鏡20x、變焦1x) |
穩定測量和成像環(huán)境
復合減震機構 | 為了排除來(lái)自外部的影響,穩定測量和成像,OLS4100 機座內置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復合減震機構"以穩定操作環(huán)境。所以,可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測量作業(yè),不需要的防震平臺。 |
直觀(guān)的GUI 實(shí)現系統化的工作流程 簡(jiǎn)易的三步流程
使用LEXT OLS4100,只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開(kāi)始觀(guān)察/測量。由于采用了簡(jiǎn)易的三步流程——成像、測量和報表——即使用戶(hù)不熟悉激光顯微鏡,也可以快速掌握測量的流程。
快速的宏觀(guān)圖拼接
掃描大面積區域時(shí)有兩種拼接方法可用:獲取實(shí)時(shí)影像時(shí)的手動(dòng)模式和快速獲取影像時(shí)的自動(dòng)模式。操作非??焖俸?jiǎn)單——2D 拼接只需一鍵操作即可開(kāi)始,并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動(dòng)模式下有五級拼接尺寸可用,分別為:3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對于影像上不需要的部分,可以使用簡(jiǎn)單的鼠標或控制桿操作手動(dòng)刪除。 |
用于簡(jiǎn)易3D 成像的智能掃描
自動(dòng)3D 影像獲取
傳統的3D 掃描需要復雜的設置,這對新手來(lái)說(shuō)非常困難。LEXT OLS4100 采用了的智能掃描模式,即使是初次使用的用戶(hù)也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設置,系統也會(huì )根據要獲取的影像自動(dòng)設置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶(hù)也能獲得的高度測量和的影像。
3D 成像
自動(dòng)亮度控制
大大縮短了獲取時(shí)間
更快的掃描速度
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統快速模式的2 倍,約是精細模式的9 倍。因此,對于那些需要非常精細的Z 軸移動(dòng)和*的放大倍率的樣品,該模式就非常地適用,例如對刀具的進(jìn)行檢測。
相同時(shí)間內獲取的影像數量:
實(shí)際的掃描時(shí)間根據所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。
只在所需區域進(jìn)行高速獲取
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式,用于測量有限的目標區域,測量性能比傳統模式快1/8。
全局掃描獲取 | 帶寬掃描獲?。?/8) |
全新的高速拼接模式
從大范圍拼接影像中目標區域
在宏觀(guān)圖中,要觀(guān)察的區域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行。在自動(dòng)模式中,通過(guò)設置多625 幅影像的矩形拼接尺寸,可以自動(dòng)生成區域圖,所需的時(shí)間大約只需要通常的一半。下一步,在區域圖上所需的影像并立即開(kāi)始觀(guān)察。
拼接區域:方形(21×3)63 片 | 拼接區域:圓形(3 點(diǎn)) |
手動(dòng)所需的影像區域
在實(shí)時(shí)模式中,通過(guò)在屏幕上跟蹤所需的區域,可以手動(dòng)選擇要觀(guān)察的區域。當觀(guān)察的樣品具有不規則的形狀時(shí),該功能非常實(shí)用。
快速影像拼接
要使用智能掃描模式獲取影像時(shí),只需一鍵操作即可。由于智能掃描會(huì )自動(dòng)調整Z 軸方向的設置,Z 軸方向的影像獲取可以?xún)H局限在所需的區域,因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀(guān)察時(shí)節省很多時(shí)間。
智能掃描模式 | 傳統獲取模式 |
一鍵操作定制報表
OLS4100 在測量后可使用一鍵操作創(chuàng )建報表,而且使用編輯功能可以定制各個(gè)報表模板。將測量結果復制和粘貼到Word 或表格應用程序也非常簡(jiǎn)單,就像從數據庫取回所需的影像和報表一樣。
目標的一鍵解決方案
為用戶(hù)設計的詳細的向導功能取消了冗長(cháng)的培訓,讓新手也能快速簡(jiǎn)單地進(jìn)行操作。