晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統詳情:
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統適用于半導體晶圓(Wafer)工藝的質(zhì)量控制。該視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統提供晶圓(Wafers)表面的快速并準確的接觸角/表面能分析,從而評估粘性,潔凈度及鍍膜。
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統采用輕量化的設計、組裝方便的基于Windows™標準的用戶(hù)友好型軟件,以創(chuàng )建一個(gè)即容又容易使用的接觸角測量?jì)x系統。
視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統的注射滴液機制可以抬起便于裝載,消除了對晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統用于晶圓表面分析,同時(shí)也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統應用 (包括但不限于):
• HMDS工藝的表面涂覆評估;
• 表面污染物檢測;
• 膠液&底漆制備;
• 涂覆均勻性檢測;
• 涂覆質(zhì)量評估;
• 表面清潔度檢測;
• 研究粘附性、潤濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理和纖維、織物、聚合物、半導體晶片、硬盤(pán)、 平板顯示器和生物材料等表面涂層。
• 吸收研究。
晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統采用了高精度攝像鏡頭和先進(jìn)的PC技術(shù)捕捉滴液的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)圖像,并確定用于觸角測量的基礎切線(xiàn)。手動(dòng)或自動(dòng)注射器提供測試液體的簡(jiǎn)易滴膠方式。 電腦化操作消除了人為錯誤的畫(huà)線(xiàn)并能捕捉動(dòng)態(tài)圖像對時(shí)間敏感的分析。存儲在計算機中的數據和圖像用于后面的分析,并且容易轉移到其他應用軟件上。
視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統主要技術(shù)規格:
● 基本系統:視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統是一款手動(dòng)操作的接觸角測量?jì)x系統,可測量晶圓片(Wafers)大尺寸為300mm。動(dòng)態(tài)圖像捕捉速率為60幀/秒,視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統除了具備表面能分析功能以外,該系統還能實(shí)現滴液表面張力的分析。該接觸角測量?jì)x系統配備電動(dòng)、可編程注射滴膠系統。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統也可在超凈間操作使用。
• 高分辨率攝像系統,放大透鏡,高密度LED光源用于精密圖像捕捉
• 300mm可旋轉工作平臺,允許檢測晶圓各個(gè)方位
• 高配PC控制系統,配備高性能顯卡,用于圖像分析及視頻捕捉
• 高清平板顯示器,用于圖像輸出顯示
● 視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統軟件基本功能特性:
• 接觸角成像及計算的自動(dòng)化
• 動(dòng)態(tài)滴液捕捉(以錄像方式觀(guān)看滴液)
• 表面能(達因/厘米)分析功能
• 統計過(guò)程控制
• 懸滴法表面分析功能
●表面能(達因/厘米)軟件包:基于同樣基片上不同液體的接觸角,計算基片的表面能(達因/厘米), 列表出同一基片上不同液體的接觸角。并且用四中用戶(hù)可選的方法之一來(lái)自動(dòng)計算表面能,即齊斯曼法(Zisman)、幾何平均數法(Geometric Mean,), 調和平均數法(Harmonic Mean,),酸堿法(Acid-Base)。
● 圖像分析工作站(IAW):專(zhuān)門(mén)配備PC格式化用于圖像分析。
● 軟件:
-> 基于Windows操作系統方便使用,增強的多功能性和易與其他程序接口;
-> 時(shí)間間隔的圖像捕捉能力提供圖像捕捉及分析,基于用戶(hù)定義的時(shí)間事件分析間隔;
-> 多個(gè)圖像同時(shí)瀏覽功能;
-> 圖像滾動(dòng)&堆碼能力;
-> 高速圖像捕捉可達60個(gè)圖像/秒。
● 成像軟件:自動(dòng)灰度分析成像系統捕捉實(shí)際液滴圖像和自動(dòng)計算接觸角,而無(wú)需人工干預。 接觸角切線(xiàn)和電腦生成的水滴形曲線(xiàn) 擬合同時(shí)顯示在視頻圖像上,便于用戶(hù)查看及分析。
● 滴液表面張力分析)軟件:采取垂滴圖像分析方法,通過(guò)視頻影像數字化和數字 曲線(xiàn)擬合,采用毛細拉普拉斯方程確定表面張力(或界面張力)。
● 微量注射器-三套
● 微量注射器針頭-五套
● SPC(統計過(guò)程控制)軟件:在一個(gè)易于使用的圖表中自動(dòng)記錄接觸角、液滴的高度,寬度,體積和面積。 即時(shí)顯示統計值平均值和標準偏差,作為數據輸入。所有的數據都可被打印, 保存和/或轉出進(jìn)一步分析或成像在其他 軟件程序之中。
● 軟件:瀏覽接觸角度、寬度和高度,潤濕面積和體積的彩色圖表。數據和圖表可以存儲、打印和編輯。
● 電動(dòng)注射器組件:電腦控制自動(dòng)滴液分配系統,用于標準注射器。提供可重復用戶(hù)定義液體體積分配。
●視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統、晶圓表面張力分析系統晶圓(Wafer)樣件工作平臺:
-> 圓形樣件平臺尺寸:直徑12英寸(304.80毫米);
-> 可接納檢測晶圓片尺寸:4英寸、6英寸、8英寸及12英寸;
-> 光軸移動(dòng):6英寸手動(dòng)滑動(dòng)卡鎖;
-> 垂直于光軸運動(dòng):6英寸撥動(dòng);
-> 垂直移動(dòng)距離:2英寸波動(dòng);
-> 工作平臺旋轉角度:360度旋轉,行星軸承支持手動(dòng)旋轉;
● 校準網(wǎng)格
● 顯示器
● 電源220VAC